14 Ago

BRUKER lanza una nueva versión de la Plataforma CMP4-Tribolab

Posted by Arotec Colombiana

La División de Superficies Nano de Bruker anunció la introducción del Sistema de Caracterización de Materiales y Procesos TriboLab CMP, que proporciona una capacidad de caracterización única para el desarrollo de procesos de pulido químico-mecánico (CMP) en el robusto UMT Plataforma de pruebas mecánicas TriboLab™. El nuevo sistema TriboLab CMP es la única herramienta en el mercado que puede proporcionar una amplia gama de presión de pulido (0.05-50 psi), velocidades (1 a 500 rpm), fricción, emisiones acústicas y mediciones de temperatura de superficie para la precisión y completa Caracterización de procesos y consumibles CMP.

“CMP es más importante que nunca para la fabricación avanzada de dispositivos semiconductores. La industria ha estado pidiendo un medio para caracterizar efectivamente el proceso detallado y las interacciones de consumibles que tienen lugar al pulir una amplia gama de materiales “, dijo el Dr. Robert Rhoades, CTO de Entrepix, un proveedor líder de equipos y servicios de procesamiento de obleas a la CMP industria. “Nos complace asociarnos con Bruker y ayudar en el lanzamiento de la plataforma TriboLab CMP. Con la adición de este nuevo sistema a nuestras capacidades, estamos preparados para proporcionar una solución de I + D confiable para probar y caracterizar interacciones complejas entre almohadillas, lechadas, acondicionamiento y parámetros de proceso con repetición y detalle incomparables”.

 

Bruker ha suministrado instrumentos para esta aplicación durante más de una década, y estamos encantados de presentar TriboLab CMP como el producto de última generación de esta familia. TriboLab CMP ya ha demostrado capacidades superiores en los sitios de los clientes en algunas de las aplicaciones CMP más difíciles de desarrollo en la industria de semiconductores “, agregó James Earle, Vicepresidente y Director General de Bruker Tribology, Stylus y Optical Metrology Business. “Es la única herramienta en el mercado que puede proporcionar los amplios rangos de presión y velocidad de pulido, datos de emisión acústica, fricción y temperatura superficial para una caracterización precisa y completa de los procesos y consumibles CMP”.

Acerca de TriboLab CMP

Construido sobre la plataforma de pruebas mecánicas UMT TriboLab, la precisión del sistema TriboLab CMP y la repetibilidad de las mediciones permiten la calificación, inspección y pruebas de funcionalidad que se requieren en todo el proceso CMP. TriboLab CMP ofrece diagnósticos de a bordo estándar para una mejor comprensión de los procesos de pulido, proporcionando una visibilidad radicalmente mayor a las propiedades de pulido transitorio. Los datos se recogen desde el instante en que el sustrato toca la almohadilla ya lo largo de toda la prueba, lo que permite tomar decisiones de desarrollo de procesos en etapas tempranas a través de datos más completos y detallados.

Para más información sobre el contacto del Tribolab – CMP-4 en: email arotec@arotec.com.co o póngase en contacto con un representante comercial.